项目推介 | 超快激光双光子微纳加工技术及利用
文章起源：新宝GG工厂 | 颁布功夫：2026-04-23
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项目介绍
（一）项目简介
超快激光双光子微纳加工技术是一种基于双光子吸收效应的微纳3D打印技术，可能突破传统光刻技术在精杜纂效能之间的矛盾，实现从纳米到百微米尺度的跨尺度结组织备 。该技术无需掩模，具备高精度、真三维、资料适应性广等特点，宽泛利用于半导体、性命科学、微机电系统、光学器件、资料工程等领域 。团队经过二十余年持续攻关，已实现从基础钻研到设备研造的全链条技术突破，具备自主知识产权的无掩模超衍射数字纳米光刻设备，技术指标国际当先 。
（二）主题技术
1、双光子聚合（TPP）技术：基于超快激光的双光子吸收效应，实现亚百纳米级分辨率的三维结构加工，突破传统光刻在复杂结组织备中的限度 。
2、跨尺度加工能力：可同时实现10 nm至100 μm尺度的结构加工，效能提升可达10^5倍，显著提升微纳造作的综合能力 。
3、无掩模超衍射数字光刻：无需掩模，具备低成本、高效能、高矫捷性的特点，合用于前沿科学钻研与高技术产品研发 。
4、设备自主研造：团队自主研发出激光直写、面投影、跨尺度加工等多种微纳加工设备，并面向高校和钻研所盛开共享 。
（三）市场利用远景
1、半导体与微电子：可用于光刻掩模版、达曼光栅、通明网格电极等关键元器件的造备，满足高精度图形化需要 。
2、性命科学与医疗：利用于细胞支架、微管打孔、病毒与细胞操控等场景，支持生物医学钻研 。
3、微机械与MEMS：实现微致动器、微机械人、多微球捕获等职能结构，推动微系统集成发展 。
4、硬脆资料加工：可在金属、陶瓷蹬撞脆资料表表造备微结构，拓展其在超疏表表、裂纹节造等方面的利用 。
（四）产业化进展
1、设备研发：已成功研发出多代微纳加工设备，具备从道理样机到产业化设备的齐全技术链条 。
2、技术利用：有关成就已在Nat. Commun.、Nano Lett.、Adv. Funct. Mater.等高水平期刊颁发论文140余篇，授权专利13项 。
3、行业认可：获“2022年中国光学十猛进展”奖、2023-2025年“微纳造作成就优良奖”等多项荣誉 。
4、合作案例：与有关钻研所等单元合作，成功开发光纤探针表表等离子共振传感器、微流控芯片蹬爪用产品 。
团队介绍
项目团队持久从事激光微纳加工技术钻研，主持多项国度沉点研发打算、国度天然科学基金、国际合作项目等 。团队具备多学科交叉布景，涵盖光学、资料、机械、电子等方向，形成从基础钻研到利用开发的齐全技术链条 。
项目优势分析
1、技术当先：双光子微纳加工技术分辨率与跨尺度能力国际当先，占有自主知识产权，突破国表技术垄断 。
2、设备自主：具备从道理到设备的全链条研发能力，可实现高端科学仪器的国产化代替 。 利用宽泛：覆盖半导体、性命科学、光学、微机电系统等多个高增长领域，具备辽阔市场空间 。
3、政策符合：面向国度“增材造作与激光造作”沉点专项，切合高端科学仪器国产化战术方向 。
合作需要
1、技术转化：追求技术让渡、专利授权、合作开发、技术入股等多种大局的成就转化合作 。
2、设备推广：面向高校、科研院所、企业研发机构推广无掩模超衍射数字纳米光刻设备，提供定造化解决规划 。
3、产品开发：结合开发双光子3D打印机等终端产品，推动技术向市场端延长 。
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（文字：新宝GG工厂 产业推进中心 编纂：卢晔 审核：娄雪松）
